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  • 型号 VS1800
  • 产地 日本
  • 样本 暂无
  • 品牌日立

核心参数

  • 仪器种类 超高速激光共聚焦显微成像系统
  • 产地类别 进口仪器

天美(中国)科学仪器有限公司

  • 营业执照已审核
  • 品牌性质经销商
  • 白金会员第18年
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纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800 产品介绍 用户评论

产品介绍

产品介绍:

纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

 

 

主要特点:

n  采用光干涉方式,非接触测量

n  3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量

n  自动粗糙度参数选择(ISO25178

n  毫米级大面积测量

n  高精度测量(垂直方向分辨率0.01nm

n  快速、高重复性测量

n  多层薄膜和薄膜内层缺陷分析

 

照明系统

卤素光源,波长530nm

相机

标准相机(640x480像素),高像素相机可选(1024x1024像素)

物镜

2.5x5x10x20x50x110x可选

显微镜控制

Z轴马达控制

样品台

Type1Tpye2Type3

减震台

被动式减震台,主动式减震台可选

扫描器

机械马达扫描器,压电陶瓷扫描器可选

测量软件

VS-MeasureVS-Viewer

 


天美(中国)科学仪器有限公司

仪信通白金会员18年

常用搭配

  • 生物显微镜 |
  • 红外显微镜 |
  • 偏光显微镜 |
  • 立体显微镜

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